干渉計で測定したデータをOpticStudioに入力する方法

この場合、例として、ZYGO 干渉計が提供するデータを使用します。ZYGO 干渉計は、会社向けにデータ ファイル形式を生成しました。ZXGRD ファイルは、OpticStudio でファイル形式を DAT ファイルに変換する必要があります。
例として、ZYGO 干渉計が提供するデータを使用します。ZYGO 干渉計は、会社向けにデータ ファイル形式を ZXGRD で生成します。OpticStudio でファイル形式を DAT に変換し、Zemax ルート ディレクトリ「DocumentZemax/ObjectsGrid Files」に保存する必要があります。
データファイル冒頭のスクリーンショットを見ると、データ形式は先週の記事で紹介したグリッドサグのデータ形式と同じであることがわかります。XY方向のデータポイント数は732で、データポイント間の距離は0.01344なので、データファイルの直径は9.72mmとなります。ファイルの最初の行には、データ単位がmmであることを示す終端フラグ（flag）が0に設定されています。

測定データが波面データとして保存されている場合は、このデータ ファイルを位相データとして扱う必要があることに注意してください。OpticStudio のグリッド サグはラジアン単位です。したがって、測定データを変換する必要があり、変換式は次のとおりです。
Zemax単位（ラジアン）= ZYGO測定単位（mm）×2
この例で提供されるデータ ファイルでは、測定された波長は 632.8nm なので、次のようになります。
Zemax単位（ラジアン）= ZYGO測定単位（mm）×2 PI / 0.0006328 = 9924×（ZYGO測定単位）

絞りレンズエディタ（STO）で位相面タイプをグリッドに設定し、面のプロパティを設定します。インポートタブで、以前に保存したデータファイル（この場合はテスト用）をインポートします。DATファイルは下図のようになります。
一方、グリッド位相の回折次数は、上記で計算した単位変換値で入力します。
[OK] をクリックすると、干渉計のデータと一致する次の干渉グラムの結果が表示されます。